2023-09-08
Med obdelavo polprevodniških rezin se uporabljajo specializirane peči za segrevanje rezin. Te peči vsebujejo podolgovate cilindrične cevi, kjer so rezine nameščene na ladjice za rezine na vnaprej določenih in enako oddaljenih položajih. Da bi zagotovili, da oprema za obdelavo ne zapravlja rezin in vzdrži pogoje obdelave v komori, so ladje za rezine in druge naprave, ki se uporabljajo pri obdelavi rezin, izdelane iz materialov, kot je silicijev karbid (SiC).
Čolni za rezine, natovorjeni s serijo rezin za obdelavo, so nameščeni na dolgih konzolnih veslih. Te lopatice je mogoče vstaviti in odstraniti iz cevastih peči in reaktorjev. Vesla so sestavljena iz sploščenega nosilnega dela, ki lahko drži enega ali več čolnov, in dolgega ročaja, ki se nahaja na enem koncu sploščenega nosilnega dela za enostavno rokovanje.
Za najboljše komponente pri obdelavi polprevodnikov je priporočljiva uporaba konzolne lopatice iz prekristaliziranega silicijevega karbida s tanko plastjo CVD SiC. Ta material je visoke čistosti in je najboljša izbira za takšne komponente.
Semicorex izdeluje konzolna vesla po meri z visokokakovostno CVD SiC prevleko. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.
Kontaktna telefonska številka +86-13567891907
E-pošta: sales@semicorex.com