Kaj je difuzijska peč?

Difuzijska peč je specializiran kos opreme, ki se uporablja za nadzorovano vnašanje nečistoč v polprevodniške rezine. Te nečistoče, imenovane dopanti, spreminjajo električne lastnosti polprevodnikov in omogočajo izdelavo različnih vrst elektronskih komponent. Ta nadzorovan proces difuzije je ključnega pomena za proizvodnjo tranzistorjev, diod in integriranih vezij.

Difuzijske peči so sestavljene iz več ključnih komponent, vključno s procesnimi cevmi, grelnimi elementi, mehanizmi za dovod zraka in krmilnimi sistemi. Procesna cev deluje kot komora, kamor je nameščena rezina. Odporen je na visoke temperature in jedke pline, zaradi česar je idealen material za to uporabo.

Grelni elementi zagotavljajo potrebno toploto za dvig temperature peči na želeno raven. Temperature v difuzijskih pečeh so običajno visoke do 1200 °C. Da bi zagotovili enakomerno ogrevanje, so grelni elementi pogosto razporejeni v spiralni obliki.

Mehanizem za dovod plina se uporablja za dovajanje dopantnega plina v peč. Običajne dopante vključujejo bor, fosfor in arzen, odvisno od želenih električnih lastnosti končnega polprevodniškega izdelka. Nadzorni sistem uravnava pretok dopantnega plina in ohranja natančen nadzor nad procesom difuzije.

Difuzijske peči se pogosto uporabljajo v industriji polprevodnikov. Uporabljajo se v procesu dopinga, ki ustvarja pn spoje v tranzistorjih in diodah. Difuzijske peči imajo ključno vlogo tudi pri izdelavi integriranih vezij, kjer je več plasti različnih polprevodnikov zloženih in med seboj povezanih.

Poleg tega so difuzijske peči bistvenega pomena za izdelavo naprednih polprevodniških naprav, kot so močnostni MOSFET (polprevodniški tranzistorji s kovinskim oksidom) in bipolarni tranzistorji z izoliranimi vrati (IGBT). Te naprave so tako ključne v energetski elektroniki in tehnologiji obnovljivih virov energije, da so difuzijske peči sestavni del njihove proizvodnje.

Difuzijske peči so kritična orodja v proizvodnji polprevodnikov, saj omogočajo nadzorovano vnašanje dopantov v polprevodniške rezine. Te peči so sestavni del proizvodnje različnih polprevodniških naprav, kot so tranzistorji, diode in integrirana vezja. Z napredkom tehnologije se zmogljivosti difuzijskih peči še naprej povečujejo, kar omogoča natančnejše in zanesljivejše proizvodne procese. Polprevodniška industrija se močno zanaša na te peči, da bi zadovoljila naraščajoče povpraševanje po napredni elektronski opremi.

Semicorex izdeluje prilagojene SiC dele za difuzijske peči. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com