Čolni za rezine iz silicijevega karbida: "nevidni varuhi rezin" v podjetju Semiconductor

Pri proizvodnji polprevodnikov oksidacija vključuje postavitev rezine v okolje z visoko temperaturo, kjer kisik teče po površini rezine in tvori oksidno plast. To ščiti rezino pred kemičnimi nečistočami, preprečuje vstop uhajajočega toka v vezje, preprečuje difuzijo med ionsko implantacijo in preprečuje zdrs rezine med jedkanjem, tako da na površini rezine tvori zaščitni film. Oprema, uporabljena v tem koraku, je oksidacijska peč. Glavne komponente v reakcijski komori vključujejo ladjo za rezine, podnožje, cevi za oblogo peči, notranje cevi za peč in pregrade za toplotno izolacijo. Zaradi visoke delovne temperature so tudi zahteve glede zmogljivosti komponent v reakcijski komori visoke.

Čoln za rezine se uporablja kot nosilec za transport in predelavo rezin. Imeti mora prednosti, kot so visoka integracija, visoka zanesljivost, antistatične lastnosti, odpornost na visoke temperature, odpornost proti obrabi, odpornost na deformacije, dobra stabilnost in dolga življenjska doba. Ker je temperatura oksidacije rezin približno med 800 ℃ in 1300 ℃, zahteve glede vsebnosti kovinskih nečistoč v okolju pa so izredno stroge, ključne komponente, kot je ladja za rezine, ne smejo imeti le odličnih toplotnih, mehanskih in kemičnih lastnosti, temveč morajo imeti tudi izjemno nizko vsebnost kovinskih primesi.

Na podlagi podlage lahko ladjice iz oblatov razvrstimo kot čolne iz kremenčevega kristala,keramika iz silicijevega karbidaz napredovanjem procesnih vozlišč pod 7 nm in širjenjem visokotemperaturnih procesnih oken postajajo tradicionalni kremenčevi čolni postopoma neustrezni v smislu toplotne stabilnosti, nadzora delcev in upravljanja življenjske dobe. Čolni iz silicijevega karbida (SiC čolni) postopoma nadomeščajo tradicionalne kvarčne rešitve.

zakajSilicijev karbid?

1. Visokotemperaturna stabilnost

Stabilnost pri visokih temperaturah je najpomembnejša prednost SiC čolnov. Praktično se ne deformirajo ali povesijo niti pri izjemno visokih temperaturah (> 1300 °C), pri čemer ohranjajo natančno pozicioniranje reže za rezine v daljših obdobjih.

2. Izjemno dolga življenjska doba

Posamezen čoln se ponaša z visoko nosilnostjo, saj lahko hkrati podpira na desetine do stotine 12-palčnih rezin. V primerjavi s tradicionalnimi kvarčnimi čolni ponujajo čolni iz SiC povprečno 5- do 10-krat daljšo življenjsko dobo, kar zmanjšuje pogostost zamenjave opreme in skupne stroške lastništva.

3. Čista površina in izjemno nizka kontaminacija

Visoka čistost materiala in izjemno nizka vsebnost kovinskih primesi preprečujeta sekundarno onesnaženje silicijevih rezin. Odličen nadzor hrapavosti površine z Ra pod 0,1 μm zavira odpadanje delcev in izpolnjuje zahteve glede čistosti naprednih procesov.

4. Primerno za procese pri ultra visokih temperaturah

Za procese, ki zahtevajo temperature nad 1200 °C (kot so določeni specializirani postopki oksidacije z debelim filmom, izdelava naprav iz SiC ali postopki polnjenja globokih jarkov), so čolni iz SiC nenadomestljiva izbira.

Aplikacije zaČolni iz silicijevega karbida

Proizvodnja polprevodnikov

Pri visokotemperaturnih postopkih izdelave čipov, kot so oksidacija, difuzija, nanašanje s kemičnim naparjevanjem (CVD) in ionska implantacija, se čolni iz silicijevega karbida uporabljajo za podporo silicijevih rezin, kar zagotavlja njihovo ravnost pri visokih temperaturah in preprečuje neusklajenost ali deformacijo rešetke, ki jo povzroči toplotna obremenitev, s čimer se zagotovi natančnost in zmogljivost čipa.

Fotovoltaična industrija

Keramika iz silicijevega karbidaimajo odlično mehansko trdnost, toplotno stabilnost, odpornost na visoke temperature, odpornost proti oksidaciji, odpornost na toplotni udar in odpornost proti kemični koroziji, zaradi česar se pogosto uporabljajo na priljubljenih področjih, kot so metalurgija, stroji, nova energija in kemikalije za gradbene materiale. Njihova zmogljivost zadostuje tudi za toplotne procese v fotonapetostni proizvodnji, kot so difuzija, LPCVD (nizkotlačno kemično naparjevanje) in PECVD (plazemsko kemično naparjevanje) za celice TOPcon. Keramični materiali iz silicijevega karbida, ki se uporabljajo za izdelavo nosilcev za čolne, majhnih čolnov in cevastih izdelkov, v primerjavi s tradicionalnimi kremenčevimi materiali nudijo večjo trdnost, boljšo toplotno stabilnost in se ne deformirajo pri visokih temperaturah. Njihova življenjska doba je tudi več kot petkrat daljša od kremenčeve, kar znatno zmanjša obratovalne stroške in izgube energije zaradi izpadov vzdrževanja. Posledica tega je očitna stroškovna prednost, surovine pa so široko dostopne.

Polprevodniki tretje generacije

V reakcijski komori za kovinsko-organsko kemično naparjevanje (MOCVD) se čolni iz silicijevega karbida uporabljajo za podporo safirnih substratov, ki so odporni na jedka plinska okolja, kot je amoniak (NH3), podpirajo epitaksialno rast polprevodniških materialov tretje generacije, kot je galijev nitrid (GaN), in izboljšujejo svetlobno učinkovitost in zmogljivost LED čipov. Pri rasti monokristalov silicijevega karbida čolni iz silicijevega karbida služijo kot nosilci kristalov v pečeh za rast monokristalov silicijevega karbida, vzdržijo visokotemperaturno jedko okolje staljenega silicija, zagotavljajo stabilno podporo za rast monokristalov silicijevega karbida in spodbujajo pripravo visokokakovostnih monokristalov silicijevega karbida.

Trendi razvoja plovil iz rezin iz silicijevega karbida

Kar zadeva trg, je po podatkih SEMI velikost svetovnega trga rezin leta 2025 približno 1,4 milijarde ameriških dolarjev in naj bi do leta 2028 dosegla 1,8 milijarde ameriških dolarjev. Ob predpostavki 20-odstotne stopnje prodora silicijevega karbida in enotretjinskega tržnega deleža na Kitajskem (podatki Kitajskega združenja polprevodniške industrije) bi velikost kitajskega trga znašala 672 milijonov ameriških dolarjev in 864 ameriških dolarjev. milijon oz.

Tehnološko ima silicijev karbid višji koeficient toplotnega raztezanja kot kremen, zaradi česar je bolj nagnjen k pokanju v aplikacijah. Zato se v proizvodnji spodbuja integrirana tehnologija oblikovanja, da se zmanjšajo šivi in ​​zmanjša tveganje odpadanja delcev. Poleg tega optimizacija zasnove zobatih utorov rezin v kombinaciji s petosno obdelavo in tehnologijami rezanja žice zagotavlja natančnost in gladkost ravnanja z rezinami.

Semicorex ponuja visoko kakovostČolni za rezine iz silicijevega karbida. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com