Na katere kazalnike je treba biti pozoren pri izbiri primernih rezin?

Izbira rezin pomembno vpliva na razvoj in proizvodnjo polprevodniških naprav.Vafeljizbiro je treba voditi glede na zahteve posebnih scenarijev uporabe in jo je treba skrbno ovrednotiti z uporabo naslednjih ključnih meritev.

1. Sprememba skupne debeline:

Razlika med največjo in najmanjšo debelino, izmerjeno na površini rezine, je znana kot TTV.  Je pomembna metrika za merjenje enakomernosti debeline, višjo zmogljivost pa kažejo manjše vrednosti.

2. Lok in osnova:

Indikator loka se osredotoča na navpični odmik območja središča rezine, ki odraža samo lokalno upogibno stanje. Primeren je za ocenjevanje scenarijev, ki so občutljivi na lokalno ravnost. Indikator osnove je uporaben za ocenjevanje splošne ravnosti in popačenja, ker upošteva odstopanje celotne površine rezine in zagotavlja informacije o splošni ravnosti celotne rezine.

3. delček:

Kontaminacija z delci na površini rezine lahko vpliva na izdelavo in delovanje naprave, zato je treba zmanjšati nastajanje delcev med proizvodnim procesom in uporabiti posebne postopke čiščenja za zmanjšanje in odstranitev kontaminacije površinskih delcev.

4.Hrapavost:

Hrapavost se nanaša na indikator, ki meri ravnost površine rezin na mikroskopskem merilu, ki se razlikuje od makroskopske ravnosti. Manjša kot je hrapavost površine, bolj gladka je površina. Težave, kot so neenakomerno nanašanje tankega filma, zamegljeni robovi fotolitografskih vzorcev in slaba električna zmogljivost, so lahko posledica pretirane hrapavosti.

5.napake:

Okvare rezin se nanašajo na nepopolne ali nepravilne mrežne strukture, ki jih povzroči mehanska obdelava, ki posledično tvori plasti poškodb kristalov, ki vsebujejo mikrocevi, dislokacije, praske. To bo poškodovalo mehanske in električne lastnosti rezine in sčasoma lahko privede do okvare čipa.

6. Vrsta prevodnosti/dopant:

Nadzor upornosti rezin je bistvenega pomena, ker neposredno vpliva na delovanje polprevodniških naprav. Da bi spremenili upornost rezin, jih proizvajalci običajno dopirajo. Višje koncentracije dopanta povzročijo nižjo upornost, medtem ko nižje koncentracije dopanta povzročijo večjo upornost.

7. Upornost:

Nadzor upornosti rezin je bistvenega pomena, ker neposredno vpliva na delovanje polprevodniških naprav. Da bi spremenili upornost rezin, jih proizvajalci običajno dopirajo. Višje koncentracije dopanta povzročijo nižjo upornost, medtem ko nižje koncentracije dopanta povzročijo večjo upornost.

Za zaključek je priporočljivo, da pred izbiro rezin razjasnite poznejše procesne pogoje in omejitve opreme, nato pa svojo izbiro opravite na podlagi zgornjih indikatorjev, da zagotovite dvojna cilja skrajšanja razvojnega cikla polprevodniške naprave in optimizacije proizvodnih stroškov.