Poznavanje konzolnega vesla

Med obdelavo je treba polprevodniške rezine običajno segreti v specializirani peči. Takšne peči so običajno sestavljene iz dolgih, tankih, cilindričnih cevi. Plošče so nameščene v peči in reaktorju tako, da so razporejene vzdolž ravnine, ki jo določa krožni prečni prerez peči ali reaktorja, in so razmaknjene na vnaprej določenih, običajno enako oddaljenih točkah vzdolž osrednje osi peči ali reaktorja. peč ali reaktor. Da bi dosegli to pozicioniranje, so rezine običajno nameščene na držala z režami, imenovana čolni za rezine, ki postavijo rezine v razmaknjeno konfiguracijo, poravnano vzdolž osrednje osi.

Majhni čolni, ki vsebujejo serije rezin za obdelavo, so nameščeni na dolgih konzolnih veslih, skozi katere je mogoče vstaviti in odstraniti cevaste peči in reaktorje. Takšna vesla običajno vključujejo ploščat nosilni del, na katerega je mogoče namestiti enega ali več majhnih čolnov, in dolg ročaj, ki se nahaja na enem koncu ploščatega nosilnega dela, s katerim je mogoče rokovati z vesli. Med ročajem in nosilnim delom je navadno oblikovan prehodni del, da postaneta celota. Poleg tega mora ročaj segati iz peči ali reaktorja, tako da je mogoče manipulirati z njim in ladjo za rezine.

Postavitev ladje za rezine v peči ali reaktorju je pomembna, ker je zaželeno, da se središče vsake rezine postavi čim bližje osrednji osi peči ali reaktorja, da se dosežejo enotni pogoji obdelave, ki so jim podvržene rezine. Zato je treba pri zasnovi lopatice upoštevati upogibanje lopatice, ki ga povzroči teža ladje, ki prevaža rezine, še posebej, ker je lopatica podprta samo na enem koncu, tj. koncu, ki štrli iz komore peči. Poleg upoštevanja zasnove vesla, ki izhaja iz zahtev glede operativne teže, je treba uporabiti tudi sklop sponk, zasnovanih za natančno držanje podaljšanega konca vesla v položaju. Te objemke morajo biti precej robustne, da držijo veslo v natančno želenem položaju, hkrati pa so preproste za uporabo in zmanjšajo možnost poškodbe vesla med vpenjanjem.

Zato je bilo potrebno konzolno veslo, ki bi ga lahko uporabili s težjo obremenitvijo in hkrati ostalo združljivo z obstoječimi sistemi vpenjanja. Pojavila se je tudi potreba po konzolnem veslu, ki bi kazalo sprejemljive karakteristike upogiba v celotnem razponu teže obremenitev, s katerimi bi se lahko uporabljalo.

Cantilever lopatica je priporočljiva za uporabo rekristaliziranega silicijevega karbida s tanko plastjo CVD SiC, ki je visoke čistosti in najboljša izbira za komponente pri obdelavi polprevodnikov.

Semicorex lahko zagotovivisoka kvalitetakonzolna veslainprilagojene storitve glede na risbe in delovno okolje.