Kaj je SOI

Silicij na izolatorju (SOI) je priznan kot ena od rešitev za zamenjavo obstoječih monokristalnih silicijevih materialov v dobi nanotehnologije in je glavno orodje za ohranjanje trenda Moorovega zakona. Silicij na izolatorju, tehnologija substrata, ki nadomešča tradicionalni masovni substrat silicij z "inženirskim" substratom, se že več kot 30 let uporablja v specializiranih aplikacijah, kot so vojaški in vesoljski elektronski sistemi, kjer ima SOI edinstvene prednosti zaradi odličnih odpornost proti sevanju in visoke hitrosti.

Materiali SOI so temelj za razvoj tehnologije SOI, razvoj tehnologije SOI pa je odvisen od nenehnega napredka materialov SOI. Pomanjkanje nizkocenovnih visokokakovostnih materialov SOI je bila glavna omejitev za tehnologijo SOI pri vstopu v obsežno industrijsko proizvodnjo. V zadnjih letih se z zrelostjo tehnologije priprave materiala SOI postopoma rešuje materialni problem, ki omejuje razvoj tehnologije SOI, kar na koncu vključuje dve vrsti tehnologije priprave materiala SOI, in sicer implantacijo Speration-by-oxygen (SIMOX) in tehnologija lepljenja. Tehnologija lepljenja vključuje tradicionalno tehnologijo Bond and Etch back (BESOI) in tehnologijo Smart-cut, ki združuje vbrizgavanje vodikovih ionov in lepljenje, ki ga je predlagal M. Bruel, eden od ustanoviteljev SOITEC v Franciji, ter Simbond SOI pripravo materiala, ki združuje izolacijo in vezavo kisika, ki jo je predlagal dr. Meng Chen leta 2005. Nova tehnologija združuje izolacijo in vezavo z vbrizgavanjem kisika.