Zakaj izbrati grafitne prijemnike, prevlečene s SiC?

Grafitni suceptorje eden bistvenih delov opreme MOCVD, je nosilec in grelec substrata rezin. Njegove lastnosti toplotne stabilnosti in toplotne enakomernosti igrajo odločilno vlogo pri kakovosti epitaksialne rasti rezin, kar neposredno določa enakomernost in čistost materialov plasti, posledično njegova kakovost neposredno vpliva na pripravo epitaksije. Medtem, ko se povečuje število uporab in sprememb delovnih pogojev, ga je zelo enostavno izgubiti in spada med potrošni material. Zaradi odlične toplotne prevodnosti in stabilnosti je grafit dobra prednostosnovna komponenta za opremo MOCVD. Če pa se uporablja le čisti grafit, se bo soočil z nekaterimi težavami. V proizvodnem procesu bodo jedki plini in kovinski organski ostanki, grafitna osnova pa bo korodirala in odpadla prah, kar močno skrajša življenjsko dobografitni suceptor, odpadli grafitni prah pa bo povzročil tudi onesnaženje čipa, zato je treba tudi v procesu priprave podlage Te težave rešiti med pripravo podlage. Tehnologija prevleke lahko zagotovi površinsko fiksacijo prahu, izboljša toplotno prevodnost in izenači porazdelitev toplote, kar postane glavna tehnologija za rešitev tega problema. Glavna tehnologija je rešiti ta problem. Glede na okolje uporabe in zahtevegrafitni suceptorji, mora imeti površinski premaz naslednje lastnosti.

Visoke gostote in popolno ovijanje: grafitna osnova kot celota je v visokotemperaturnem, jedkem delovnem okolju, površina mora biti popolnoma ovita, medtem ko mora biti prevleka dobre gostote, da lahko igra dobro zaščitno vlogo.

Dobra površinska ravnost: ker grafitna osnova, ki se uporablja za rast monokristalov, zahteva zelo visoko površinsko ravnost, je treba po pripravi premaza ohraniti prvotno ravnost osnove, tj. površina premaza mora biti enotna.

Dobra vezna trdnost: Zmanjšanje razlike v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno osnovo in prevlečnim materialom lahko učinkovito izboljša vezno trdnost med njima, prevleke pa po toplotnih ciklih pri visokih in nizkih temperaturah ni enostavno razpokati.

Visoka toplotna prevodnost: visokokakovostna rast odrezkov zahteva hitro in enakomerno toploto iz grafitne osnove, zato mora imeti premazni material visoko toplotno prevodnost.

Visoko tališče, visokotemperaturna oksidacija in odpornost proti koroziji: premaz mora biti sposoben stabilno delovati pri visokih temperaturah in korozivnih delovnih okoljih.