Čoln za rezino silicijeve karbide

Za vsakim visokotemperaturnim postopkom v proizvodnji rezin se skriva tihi, a ključni igralec: čoln za rezine. Ker je osnovni nosilec, ki med obdelavo rezin neposredno stopi v stik s silikonskim rezinam, njegov material, stabilnost in čistoča neposredno povezana s končnim donosom čipa in stabilnosti procesa. Med različnimi nosilnimi materialiSilicijev karbid (sic)Čolni postopoma nadomeščajo tradicionalne kremenčeve rešitve in postanejo najprimernejša rešitev za napredne procese in višje opremo.

Zakaj sic -rezinske čolne?

Z napredovanjem procesnih vozlišč pod 7 nm in širitvijo visokotemperaturnih procesnih oken se tradicionalni čolni iz kremena rezin vse pogosteje borijo v smislu toplotne stabilnosti, nadzora delcev in upravljanja življenjske dobe.

Silicijeve rezinske čolne pa se zaradi naslednjih prednosti postopoma pridobivajo na pomembnosti:

1.Stable pri visokih temperaturah:

Ponujajo dolgoročne obratovalne temperature 1350-1600 ° C in enostavno ravnajo z mainstream procesi, kot so CVD, difuzija in žarjenje. Celo kratka izpostavljenost temperaturam 1800 ° C ne kaže mehčanja ali deformacije, zaradi česar je primerna za opremo višjega cenovnega razreda, kot so enojne kristalne silicijeve peči.

2. Razširitev in visoka stabilnost toplotnega udarca:

Z nizkim koeficientom toplotne ekspanzije lahko zdrsnejo hitro zvišanje in znižanje temperature, kar zmanjšuje strukturno razpokanje, ki ga povzroča toplotni stres. Ohranjajo odlično morfologijo in zmogljivost v visokotemperaturnih, zapletenih atmosferi (kot so vodik, dušik, amonijak in fluoridi).

3. Čistijo površino in izjemno nizka kontaminacija:

Visoka čistost materiala z minimalnimi nečistoči v kovini. Nizka hrapavost površine, ki preprečuje sekundarno kontaminacijo silicijevih rezin; Odličen nadzor hrapavosti na površini, z RA pod 0,1 μm, zavira odstranjevanje delcev in izpolnjuje potrebe po čistih prostorih naprednih procesov;

4. Enodelno oblikovanje, Natančne konstrukcije čolnov, ki jih upravljajo, se lahko neposredno oblikujejo skozi brez plesni3D tiskanje, odpravljanje potrebe po kalupih, kar bistveno izboljšuje učinkovitost prilagajanja; V kombinaciji s pet-oso obdelavo in tehnologijo rezanja žic so zobje čolna brez razkopa, ki preprečujejo praske na rezine in zagotavljajo gladko avtomatizirano ravnanje;

5. Visoka moč in dolgo življenje: 

En sam čoln se ponaša z visoko tovorno močjo in lahko hkrati podpira desetine na stotine 12-palčnih rezin. V primerjavi s tradicionalnimi kremenčevimi čolni je povprečna življenjska doba čolna 5-10-krat daljša, kar zmanjšuje frekvenco prehoda opreme in skupne stroške lastništva.

Scenarij prijave

Široka prilagodljivostSilicijeve pločeRazširi njihovo uporabo izven polprevodniškega polja na različne visokotemperaturne scenarije procesov, vključno z novimi energetskimi materiali, proizvodnjo LED in raziskavami jedrske energije.

Polprevodniška industrija

Primerno je za ključne procese, kot so oksidacija, difuzija, nalaganje KVB in ionska implantacija, zaradi česar je nepogrešljiv visokotemperaturni nosilec za procesne linije pod 7 nm.

Fotovoltaična industrija

Pri nastajajočih tehnologijah baterij, kot sta TopCon in HJT, se rezine za rezine uporabljajo v visokotemperaturnih procesih peči, kot sta LPCVD in žarjenje, kar pomaga izboljšati energijsko učinkovitost in hitrost pretvorbe.

Polprevodniki tretje generacije

Za procese rasti GAN in SIC v LED -jih podpirajo safirne ali silicijeve karbidne podlage. Zdržijo korozivne pline, kot sta NH₃ in HCL, ki podpirajo proizvodnjo visokofrekvenčnih naprav.

Novi energetski materiali in raziskave visokotemperaturne platforme

Podpira sintransko reakcijo litijevih baterijskih katodnih materialov in toplotno obdelavo materialov jedrske industrije, ki združuje toplotno odpornost, korozijsko odpornost in čistočo.

Semicorex ponuja visoko čistostPrilagojeni sic -rezinski čolni. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktni telefon # +86-13567891907

E -pošta: sales@semiconex.com