Silicijeve rezine z visoko upornostjo (HR-Si), kot že ime pove, je monokristalni silicijev material z izjemno visoko upornostjo. Na področju napredne proizvodnje polprevodnikov so visokofrekvenčne izgube postale velik izziv pri načrtovanju čipov višjega razreda. Zahvaljujoč svoji ultra visoki uporno......
Preberi večFokusni obroč, imenovan tudi kompenzacijski obroč ali omejevalni obroč, je nepogrešljiv sestavni del opreme za jedkanje, zlasti opreme za suho jedkanje s plazmo. Postopki natančnega jedkanja v nanometru v sodobni proizvodnji polprevodnikov brez tega ne bi bili dosegljivi. Uporaba fokusnega obroča za......
Preberi večZ natančnim uravnavanjem profilov ogrevanja in hlajenja lahko postopek žarjenja aktivira dopantne atome, popravi poškodbe rešetke, razbremeni notranje napetosti in izboljša električno zanesljivost rezin. Te kritične izboljšave zmogljivosti postavljajo trdne temelje za kasnejšo obdelavo rezin, ki slu......
Preberi večKeramične vakuumske vpenjalne glave so orodja, ki se uporabljajo za vpenjanje in prenašanje polprevodniških rezin pri proizvodnji polprevodniških rezin. Odlikujejo jih visoka ravnost in vzporednost, gosta in enakomerna struktura, visoka trdnost, dobra zračna prepustnost, enakomerna adsorpcijska sila......
Preberi večGlavni cilj je doseči enakomernost temperature površine rezin (≤±0,5–5 ℃) in stabilnost polja temperature/toka, s čimer se izboljša enotnost debeline epitaksialne plasti (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 μm/h).
Preberi večC/C kompoziti imajo številne odlične lastnosti in so trenutno edini kompozitni materiali, ki lahko delujejo pri visokih temperaturah nad 2600 °C v inertnih atmosferah, zaradi česar so široko uporabni v vesoljski industriji, orožju, jedrski energiji, metalurgiji in kemični industriji.
Preberi več