Čoln za rezine iz silicijevega karbida

Pri proizvodnji polprevodnikov oksidacija vključuje postavitev rezine v okolje z visoko temperaturo, kjer kisik teče po površini rezine in tvori oksidno plast. To ščiti rezino pred kemičnimi nečistočami, preprečuje vstop toka uhajanja v vezje, preprečuje difuzijo med ionsko implantacijo in preprečuje zdrs rezine med jedkanjem, pri čemer na površini rezine tvori zaščitni film. Oprema, uporabljena v tem koraku, je oksidacijska peč. Glavne komponente v reakcijski komori vključujejo ladjo za rezine, podnožje, cevi za oblogo peči, notranje cevi za peč in pregrade za toplotno izolacijo. Zaradi visoke delovne temperature so tudi zahteve glede zmogljivosti komponent v reakcijski komori visoke.

Thečoln napolitankese uporablja kot nosilec za transport in predelavo rezin. Imeti mora prednosti, kot so visoka integracija, visoka zanesljivost, antistatične lastnosti, odpornost na visoke temperature, odpornost proti obrabi, odpornost na deformacije, dobra stabilnost in dolga življenjska doba. Ker je temperatura oksidacije rezin približno med 800 ℃ in 1300 ℃, zahteve glede vsebnosti kovinskih nečistoč v okolju pa so izredno stroge, ključne komponente, kot je ladja za rezine, ne smejo imeti le odličnih toplotnih, mehanskih in kemičnih lastnosti, temveč morajo imeti tudi izjemno nizko vsebnost kovinskih primesi. Glede na substrat jih lahko razdelimo na kremenčeve rezine, keramične rezine iz silicijevega karbida itd. Vendar pa z napredovanjem procesnih vozlišč pod 7 nm in širitvijo visokotemperaturnih procesnih oken tradicionalni kvarčni čolni postopoma postajajo neustrezni v smislu toplotne stabilnosti, nadzora delcev in upravljanja življenjske dobe. Čolni iz silicijevega karbida (SiC) postopoma nadomeščajo tradicionalne kvarčne rešitve.

1. Proizvodnja polprevodnikov

Pri visokotemperaturnih postopkih izdelave čipov, kot so oksidacija, difuzija, nanašanje s kemičnim naparjevanjem (CVD) in ionska implantacija, se SiC čolni uporabljajo za podporo silicijevih rezin, kar zagotavlja, da rezine ostanejo ravne pri visokih temperaturah in preprečuje neskladje ali deformacijo mreže, ki jo povzroči toplotna obremenitev, s čimer se zagotovi natančnost in zmogljivost čipa.

2. Fotovoltaična industrija

Keramika iz silicijevega karbida ima odlično mehansko trdnost, toplotno stabilnost, odpornost na visoke temperature, odpornost proti oksidaciji, odpornost na toplotni udar in kemično korozijo ter se pogosto uporablja na priljubljenih področjih, kot so metalurgija, stroji, nova energija in kemikalije za gradbene materiale. Njegova zmogljivost zadostuje tudi za toplotne procese v fotonapetostni proizvodnji, kot so difuzija, LPCVD (nizkotlačno kemično naparjevanje) in PECVD (plazemsko kemično naparjevanje) za celice TOPcon. Keramični materiali iz silicijevega karbida, ki se uporabljajo za izdelavo nosilcev za čolne, majhnih čolnov in cevastih izdelkov, v primerjavi s tradicionalnimi kremenčevimi materiali nudijo večjo trdnost, boljšo toplotno stabilnost in se ne deformirajo pri visokih temperaturah. Njihova življenjska doba je tudi več kot petkrat daljša od kremenčeve, kar znatno zmanjša obratovalne stroške in izgube energije zaradi izpadov vzdrževanja. Posledica tega je očitna stroškovna prednost, surovine pa so široko dostopne.

3. Polprevodniška industrija tretje generacije

V reakcijskih komorah za kovinsko-organsko kemično naparjevanje (MOCVD) se čolni iz silicijevega karbida uporabljajo za podporo safirnih substratov, ki so odporni na jedka plinska okolja, kot je amoniak (NH3), podpirajo epitaksialno rast polprevodniških materialov tretje generacije, kot je galijev nitrid (GaN), in izboljšujejo svetlobni izkoristek in zmogljivost LED čipov. Pri rasti monokristalov silicijevega karbida čolni iz silicijevega karbida služijo kot nosilci kristalov v pečeh za rast monokristalov silicijevega karbida, vzdržijo visokotemperaturno jedko okolje staljenega silicija, zagotavljajo stabilno podporo za rast monokristalov silicijevega karbida in spodbujajo pripravo visokokakovostnih monokristalov silicijevega karbida.

Semicorex dobavlja visokokakovostno SiC keramikoladjice iz oblatov. Naši izdelki so zasnovani tako, da zagotavljajo vrhunsko toplotno stabilnost, podaljšano življenjsko dobo in izjemno doslednost postopka. Za prilagojene rešitve ali dodatne tehnične informacije se obrnite na našo inženirsko ekipo.

Telefon: +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com