Kaj je čoln iz SiC in kakšni so njegovi različni proizvodni procesi?

1. Različni proizvodni procesiSiC čoln

(1) Premaz s plastjoSiC filmna površini grafitakristalni čolnipreko KVB

Ta tip čolna ima grafitno jedro, ki je obdelano v enem kosu. vendargrafit je porozenin nagnjeni k nastanku delcev, zaradi česar je potrebna uporaba aSiC filmska prevlekana njeni površini. Zaradi neusklajenosti koeficienta toplotnega raztezanja (CTE) med grafitnim telesom inSiC film, se bo premaz verjetno odluščil po več ciklih segrevanja in ohlajanja, kar bo povzročilo kontaminacijo z delci. Ti čolni so najcenejši in imajo življenjsko dobo približno eno leto.

(2) Premaz s plastjoSiC filmna rekristaliziranoSiC kristalni čolni

PrekristaliziranoSiC čolniso tudi porozne in zlahka tvorijo delce. Zato se posamezne komponente rekristalizirajoSiC čolnije treba predhodno oblikovati, sintrati in nato obdelati ločeno. Nato se komponente povežejo skupaj pri visokih temperaturah s pomočjo Si paste. Ko je sestavljen v en sam čoln, aSiC filmse uporablja preko CVD. To se rekristaliziraSiC čolnima najdaljši proizvodni proces in je drag, vendar površinaCVD premazse lahko tudi poškoduje, z življenjsko dobo okoli treh let.

(3)MonolitnaSiC kristalni čolni

tečolniso v celoti sestavljeni iz materiala SiC. SiC prah je treba oblikovati in sintrati v obliko monolitnega čolna. Izjemno dragi so, zelo vzdržljivi in ​​manj verjetno bodo tvorili delce. Vendar ti čolni vsebujejo 10–15 % prostega silicija, ki je dovzeten za erozijo zaradi fluora in klora, kar povzroči kontaminacijo z delci.

2. Zakaj kemično čiščenje ni priporočljivo?

Če povzamemo, zaSiC čolniprevlečen z aSiC film skozi CVD, je površinski premaz nagnjen k luščenju med kemičnim čiščenjem, kar povzroči kontaminacijo z delci. Za monolitnoSiC čolniki vsebujejo majhno količino prostega silicija, lahko izpostavljenost plinom, ki vsebujejo fluor ali klor, povzroči erozijo in nastajanje delcev, kar povzroči onesnaženje.**