Kaj je grafitni suceptor s prevleko iz SiC?

Da bi predstaviliGrafitni sprejemnik s prevleko iz SiC, je pomembno razumeti njegovo uporabo. Pri izdelavi naprav je treba na nekatere substrate rezin vgraditi dodatne epitaksialne plasti. Naprave, ki oddajajo svetlobo LED, na primer zahtevajo pripravo epitaksialnih plasti GaAs na silicijevih substratih; medtem ko je potrebna rast plasti SiC na podlagah SiC, epitaksialna plast pomaga konstruirati naprave za močnostne aplikacije, kot so visoka napetost in visok tok, na primer SBD, MOSFET itd. Nasprotno pa je epitaksialna plast GaN izdelana na polizolacijskem SiC substrat za nadaljnjo izdelavo naprav, kot je HEMT, za radiofrekvenčne aplikacije, kot so komunikacije. Če želite to narediti, aKVD opremo(med drugimi tehničnimi metodami). Ta oprema lahko odlaga elemente skupin III in II ter elemente skupin V in VI kot izvorne materiale za rast na površini substrata.

notriKVD opremo, podlage ni mogoče postaviti neposredno na kovino ali preprosto postaviti na podlago za epitaksialno nanašanje. To je zato, ker so smer pretoka plina (vodoravna, navpična), temperatura, tlak, fiksacija, odvajanje onesnaževalcev itd. dejavniki, ki lahko vplivajo na proces. Zato je suceptor potreben tam, kjer je podlaga nameščena na disk, nato pa se za izvedbo epitaksialnega nanašanja na podlago uporabi tehnologija CVD. Ta sprejemnik je grafitni sprejemnik, prevlečen s SiC (znan tudi kot pladenj).

Thegrafitni sprejemnikje ključna sestavina vMOCVD oprema. Deluje kot nosilec in grelni element substrata. Njegova toplotna stabilnost, enakomernost in drugi parametri delovanja so pomembni dejavniki, ki določajo kakovost epitaksialne rasti materiala in neposredno vplivajo na enakomernost in čistost tankoslojnega materiala. Zato je kakovostgrafitni sprejemnikje ključnega pomena pri pripravi epitaksialnih rezin. Vendar pa se zaradi potrošnega materiala suceptorja in spreminjajočih se delovnih pogojev zlahka izgubi.

Grafit ima odlično toplotno prevodnost in stabilnost, zaradi česar je idealna osnovna komponenta zaMOCVD oprema. Vendar se čisti grafit sooča z nekaterimi izzivi. Med proizvodnjo lahko ostanki jedkih plinov in kovinske organske snovi povzročijo korozijo suceptorja in prah, s čimer se močno zmanjša njegova življenjska doba. Poleg tega lahko padajoči grafitni prah povzroči onesnaženje čipa. Zato je treba te težave rešiti med postopkom priprave podlage.

Tehnologija premazovanja je postopek, ki ga je mogoče uporabiti za fiksiranje prahu na površine, izboljšanje toplotne prevodnosti in enakomerno porazdelitev toplote. Ta tehnologija je postala primarni način reševanja tega problema. Odvisno od okolja uporabe in zahtev glede uporabe grafitne podlage mora površinski premaz imeti naslednje značilnosti:

1. Visoka gostota in popolno ovijanje: Grafitna osnova je v visokotemperaturnem, jedkem delovnem okolju in površina mora biti v celoti pokrita. Za dobro zaščito mora premaz imeti tudi dobro gostoto.

2. Dobra površinska ravnost: ker grafitna osnova, ki se uporablja za rast monokristalov, zahteva visoko površinsko ravnost, je treba po pripravi premaza ohraniti prvotno ravnost osnove. To pomeni, da mora biti površina premaza enakomerna.

3. Dobra vezna trdnost: Zmanjšanje razlike v koeficientu toplotnega raztezanja med grafitno osnovo in prevlečnim materialom lahko učinkovito izboljša vezno trdnost med obema. Po izkušnji visokih in nizkih temperaturnih termičnih ciklov premaz ni lahko razpokati.

4. Visoka toplotna prevodnost: visokokakovostna rast odrezkov zahteva hitro in enakomerno toploto iz grafitne osnove. Zato mora imeti premazni material visoko toplotno prevodnost.

5. Visoko tališče, visoka temperaturna odpornost proti oksidaciji in odpornost proti koroziji: premaz mora biti sposoben stabilno delovati v visokotemperaturnih in korozivnih delovnih okoljih.

Trenutno,Silicijev karbid (SiC)je prednostni material za prevleko grafita zaradi svoje izjemne učinkovitosti v okoljih z visoko temperaturo in korozivnimi plini. Poleg tega njegov koeficient toplotnega raztezanja z grafitom omogoča, da tvorijo močne vezi. Poleg tegaPrevleka iz tantalovega karbida (TaC).je tudi dobra izbira in lahko stoji v okolju z večjo temperaturo (> 2000 ℃).

Semicorex ponuja visoko kakovostSiCinTaC prevlečeni grafitni sprejemniki. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com