Prevleka TaC s CVD metodo

Prevleka iz tantalovega karbida je pomemben visokotrden, odporen proti koroziji in kemično stabilen visokotemperaturni strukturni material s tališčem do 4273 °C, ena od več spojin z najvišjo temperaturno odpornostjo. Ima odlične visokotemperaturne mehanske lastnosti, odpornost na drgnjenje pri hitrem zračnem toku, odpornost na ablacijo ter dobro kemično in mehansko združljivost z grafitom in kompoziti ogljik/ogljik. Zato ima v epitaksialnem procesu napajalnih naprav GaN LED in SiC, kot je MOCVD, prevleka TaC odlično kislinsko in alkalno odpornost na H2, HCl, NH3, kar lahko popolnoma zaščiti material grafitne podlage in očisti rastno okolje.

Prevleka TaC ostane stabilna pri temperaturah nad 2000 °C, medtem ko prevleka SiC začne razpadati pri 1200-1400 °C, kar bo tudi močno izboljšalo integriteto grafitne podlage. Prevleke iz tantalovega karbida se trenutno pripravljajo na grafitnih podlagah predvsem s CVD, proizvodna zmogljivost prevlek TaC pa bo še povečana, da bo zadostila povpraševanju po napajalnih napravah SiC in epitaksialnih napravah GaNLED.

Kemični reakcijski sistem, ki se uporablja za nanašanje prevlek iz tantalovega karbida na ogljikove materiale s kemičnim naparjevanjem (CVD), je TaCl5, C3H6, H2 in Ar, kjer se Ar uporablja kot plin za redčenje in prenos.

Prevleke iz tantalovega karbida igrajo ključno vlogo v epitaksialnem procesu GaN LED in napajalnih naprav SiC z uporabo MOCVD. Napredni materiali ščitijo vitalne komponente, zagotavljajo njihovo dolgo življenjsko dobo in delovanje v težkih pogojih, povezanih z visokotemperaturno proizvodnjo polprevodnikov.

Ker povpraševanje po SiC napajalnih napravah in GaN LED še naprej narašča, se bo proizvodna zmogljivost prevlek iz tantalovega karbida povečala. Proizvajalci so pripravljeni izpolniti vse večje zahteve teh industrij in olajšati razvoj visokotemperaturne tehnologije.

V zaključku,prevleke iz tantalovega karbidapredstavljajo neverjeten tehnološki preskok pri zagotavljanju trajnosti in zanesljivosti materialov v visokotemperaturnih okoljih. Ker nadaljujejo z revolucijo v sektorjih polprevodnikov in močnostne elektronike, ti premazi poudarjajo svoj status kritičnega elementa sodobnega visokotehnološkega napredka.