TaC premaz

TaC keramika ima tališče kar do 3880°C, visoko trdoto (trdota po Mohsu 9-10), visoko toplotno prevodnost (22W·m).^-1·K⁻¹), velika upogibna trdnost (340-400MPa) in majhen koeficient toplotnega raztezanja (6,6×10^-6K-1) in izkazujejo odlično termokemično stabilnost in odlične fizikalne lastnosti, zato se prevleke TaC pogosto uporabljajo v letalski toplotni zaščiti, grafit in C/C kompoziti pa imajo dobro kemično združljivost in mehansko združljivost. ) in kažejo odlično termokemično stabilnost in odlične fizikalne lastnosti, grafit in C/C kompoziti pa imajo dobro kemično združljivost in mehansko združljivost, zato se prevleke TaC pogosto uporabljajo v letalski toplotni zaščiti, rasti monokristalov, energiji in elektroniki ter medicinskih napravah, itd. Grafit, prevlečen s TaC, ima boljšo kemično odpornost kot goli grafit ali grafit, prevlečen s SiC, in ga je mogoče stabilno uporabljati pri visoki temperaturi 2600 °. 2600 ° visoka temperaturna stabilnost in številni kovinski elementi ne reagirajo, je tretja generacija scenarijev rasti polprevodniških monokristalov in jedkanja rezin v najboljši zmogljivosti prevleke, lahko bistveno izboljša proces nadzora temperature in nečistoč, pripravo visoke -kakovostne rezine iz silicijevega karbida in pripadajoče epitaksialne rezine. Posebej je primeren za opremo MOCVD za gojenje monokristalov GaN ali AlN in opremo PVT za gojenje monokristalov SiC, kakovost gojenih monokristalov pa je bistveno izboljšana.

Glede na rezultate raziskave,Prevleka TaC lahko deluje kot zaščitna in izolacijska plast za podaljšanje življenjske dobe grafitnih komponent, izboljšanje enakomernosti radialne temperature, vzdrževanje stehiometrije sublimacije SiC, zatiranje migracije nečistoč in zmanjšanje porabe energije. Navsezadnje se pričakuje, da bo grafitni lonček, prevlečen s TaC, izboljšal kontrolo postopka SiC PVT in kakovost izdelka.