Keramika Semicorex, ki se uporablja pri obdelavi polprevodnikov

Z napredkom tehnologije so se pametni izdelki, kot so mobilni telefoni, računalniki, električna vozila in roboti, vključili v življenja ljudi. Ti izdelki vsebujejo veliko število polprevodniških čipov, izdelava čipov pa zahteva polprevodniško opremo, kot so stroji za jedkanje, stroji za litografijo in ionski implantatorji. Odpiranje polprevodniške naprave razkrije, da je večina njenih komponent keramičnih delov. Keramični deli imajo odlične lastnosti, kot so visoka temperaturna odpornost, odpornost proti koroziji, visoka natančnost in visoka trdnost, zaradi česar so zelo primerni za uporabo v polprevodniški opremi. Večina keramičnih delov, kot ključnih komponent v proizvodnih procesih polprevodnikov, je v neposrednem stiku z rezino, kar omogoča visoko natančno kontrolo ter hitro segrevanje in ohlajanje temperature površine rezine.

Polprevodniški keramični deli spadajo med napredno keramiko, vključeni keramični materiali pa običajno vključujejo aluminijev oksid, silicijev karbid, aluminijev nitrid, silicijev nitrid in itrijev oksid. Metode oblikovanja keramičnih izdelkov običajno vključujejo suho stiskanje, litje s trakom, brizganje, vroče izostatično stiskanje, hladno izostatično stiskanje, drsno litje, ekstruzijsko litje, vroče tlačno litje, litje z gelom in litje z neposrednim strjevanjem.

1. Suho stiskanje

Suho stiskanje je običajen postopek za proizvodnjo polprevodniških komponent. Ta postopek vključuje predvsem vlivanje granuliranega prahu z ustrezno porazdelitvijo velikosti delcev v votlino kovinskega kalupa, pri čemer se izvaja pritisk s tlačno glavo. Tlačna glava se premika v votlini kalupa, prenaša pritisk na praškaste delce in jih stisne ter na koncu tvori keramični surovec s specifično obliko in trdnostjo.

2. Ulivanje

Ulivanje je tehnologija mokrega oblikovanja, s katero lahko v enem samem postopku izdelamo keramične surovce z debelinami od desetine mikrometrov do milimetrov. Keramična gošča z dobro viskoznostjo in disperzijo teče iz utora za goščo livarskega stroja na podlago. Gnojnica se razprostira in pod površinsko napetostjo nastane surovec z gladko zgornjo površino. Prazen izdelek skupaj s substratom se pošlje v sušilno komoro. Ko topilo izhlapi, organsko vezivo tvori mrežo med keramičnimi delci, kar ustvarja surovec z določeno trdnostjo in prožnostjo. Posušeno surovino odluščimo s podlage in zvijemo za kasnejšo uporabo. Nadaljnja obdelava, kot je rezanje, vtiskovanje in prebadanje, ki ji sledi žganje, zaključi postopek izdelave izdelka.

3. Brizganje

Brizganje je nova tehnologija za izdelavo keramičnih delov. Njegov proizvodni proces je v glavnem sestavljen iz štirih stopenj: priprava materiala za brizganje, brizganje, odstranjevanje veziva in sintranje. Običajno se uporablja za izdelavo majhnih keramičnih delov s kompleksno geometrijo in posebnimi zahtevami.

4. Izostatično stiskanje

Izostatično stiskanje vključuje vroče izostatično stiskanje in hladno izostatično stiskanje. Izostatično stiskanje lahko prenaša pritisk iz vseh smeri in tako zagotavlja zgoščevanje pločevine.

1) Postopek vročega izostatičnega stiskanja

Ta metoda poveča atomsko difuzijo pod visoko temperaturo in tlakom, zaradi česar se pore v keramiki preselijo na meje zrn ali površino obdelovanca, s čimer se zmanjša ali odpravi poroznost. Vroče izostatično stiskanje uporablja tankostenske prednapete enote za navijanje, kar omogoča enakomerno in hitro hlajenje, kar znatno izboljša učinkovitost proizvodnje v primerjavi z naravnim hlajenjem.

2) Postopek hladnega izostatičnega stiskanja

Ta metoda uporablja 100~600 MPa za keramični ali kovinski prah pri sobni temperaturi ali nekoliko višjih temperaturah (<93 ℃), da dobimo "zeleno telo", ki se nato sintra do končne trdnosti.

5. Slip Casting

Drsno litje je pogosto uporabljena metoda oblikovanja v obsežni proizvodnji keramike. Vključuje vbrizgavanje gošče z visoko vsebnostjo trdnih snovi in ​​dobro tekočnostjo v porozni mavčni kalup. Zaradi kapilarnega sesanja poroznega kalupa notranja stena kalupa črpa vodo iz gošče in tvori strjeno zeleno telo vzdolž stene kalupa. Ko zeleno telo doseže določeno trdnost, ga je mogoče odstraniti iz kalupa.

6. Ekstruzijsko oblikovanje

Ekstruzijsko oblikovanje vključuje mešanje keramičnega prahu, gline ali organskega veziva in vode, večkratno gnetenje, vakuumsko razplinjevanje in staranje, da dobi ekstrudirano zeleno telo dobro plastičnost in enotnost. Nato se pod delovanjem ekstruzijskega vijaka ali bata ekstrudira skozi matrico na šobi ekstruderja, da dobimo želeno obliko izdelka.

7. Vroča stiskalnica

Vroče stiskanje v glavnem izkorišča lastnost parafinskega voska, ki se tali pri segrevanju in strdi pri ohlajanju. Keramični prah in vroč parafinski vosek se enakomerno zmešata, da nastane tekoča kaša. Pod določenim pritiskom se gošča vbrizga v kovinski kalup, da se oblikuje zeleno telo. Po ohlajanju in strjevanju se zeleno telo odstrani iz kalupa. Zeleno telo je nato obrezano, razvoskano pri visoki temperaturi in končno sintrano, da se proizvede končni izdelek.

8. Gel Casting

Ulivanje gela vključuje dispergiranje keramičnega prahu v raztopini, ki vsebuje organsko snov, za pripravo suspenzije z visoko vsebnostjo trdnih snovi. To suspenzijo nato vbrizgamo v kalup določene oblike. Pod posebnimi katalitičnimi in temperaturnimi pogoji organski monomeri polimerizirajo, tvorijo gel, strdijo suspenzijo in situ in se posušijo, kar ima za posledico zeleno telo z visoko trdnostjo.

9. Neposredno strjevanje

Neposredno strjevanje je nova metoda za oblikovanje keramičnih koloidnih struktur neto velikosti. Ta metoda združuje tradicionalno keramično tehnologijo s kemijsko teorijo, pri čemer uporablja katalizatorje ali iniciatorje za povzročitev navzkrižnega povezovanja organskih monomerov, dodanih suspenziji, ki tvorijo mrežno strukturo, ki vodi do strjevanja in situ.

Semicorex ponuja različnekeramične komponente. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com