Vakuumska vpenjalna glava iz poroznega aluminijevega oksida

Vakuumska vpenjalna glava je povezana z vakuumsko opremo preko povezovalne cevi. Ko vakuumska vpenjalna glava pride v stik z obdelovancem, kot je rezina/tankoplastni material, začne vakuumska oprema delovati in ustvari podtlak znotraj vakuumske vpenjalne glave. Pod atmosferskim pritiskom se obdelovanec trdno prilepi na vakuumsko vpenjalno glavo, kar omogoča obdelavo. Po končani obdelavi vakuumska oprema preneha delovati in počasi napolni vakuumsko vpenjalno glavo s plinom, ki samodejno loči obdelovanec od vpenjalne glave. S tem je zaključeno vpenjanje, obdelava in rokovanje z obdelovancem.

Glavni cilj polprevodniške fotolitografije je "natisniti" milijarde vzorcev tranzistorskih vezij na rezino z nanometrsko natančnostjo. Bistvo "fotolitografije" je uporaba svetlobnega vira za obsevanje visoko fotoobčutljivega fotorezista, kar povzroči kemično reakcijo, ki jedka vezje. Ko pa vir svetlobe obseva rezino, neizogibno sveti tudi na elektrostatično vpenjalno glavo, ki služi kot nosilec rezine. Nastala odbita sekundarna svetloba lahko moti postopek fotolitografije, povzroči osvetlitev na nepredvidenih območjih in poškoduje vezje. Zato črna površina za vakuumsko vpenjalno glavo zmanjša odsev, kar zagotavlja zahteve glede natančnosti fotolitografskega sistema. Na podlagi te zmožnosti se črni aluminijev oksid lahko široko uporablja ne samo v elektrostatičnih vpenjalnih glavah, temveč tudi v scenarijih "zatiranja svetlobe". Prihod dobe umetne inteligence je omogočil pomemben razvoj v aplikacijah za optično komunikacijo, črne podlage iz aluminijevega oksida pa so pogosto vidne v embalaži optoelektronskih naprav in elementov, ki oddajajo svetlobo.

Črna aluminijeva keramikaje narejen predvsem iz Al2O3, z dodanimi oksidi prehodnih kovin kot barvili in dodatki za sintranje, sintran pri določeni temperaturi. Barvilo je ključna sestavina te vrste keramike, ki določa njeno končno barvo. Pri izbiri barvil za vakuumske vpenjalne glave je nujno zagotoviti barvo, mehansko trdnost, poroznost in velikost por vakuumske vpenjalne glave.

Trenutno pogosto uporabljeni oksidi prehodnih kovin kot barvila tako doma kot na mednarodni ravni vključujejo Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 in MnO2, pri čemer so najbolj razširjeni Fe2O3, CoO, NiO in MnO2. Ker je aluminijev oksid pri visokih temperaturah manj hlapen, oksidi prehodnih kovin pa nasprotno, njihova hlapnost narašča s temperaturo. Ti oksidi med visokotemperaturnim sintranjem tvorijo spojine spinelnega tipa, kar zmanjša njihovo hlapnost. Zato je treba za zatiranje izhlapevanja oksidov prehodnih kovin izbrati ustrezne procesne pogoje, ki jim omogočajo združevanje v spojine tipa spinel pri nižjih temperaturah.

Semicorex ponuja carinevakuumska vpenjalna glava iz porozne keramike. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com