Z razvojem polprevodniških in optičnih tehnologij,steklene rezinekot nova vrsta steklenih izdelkov, postopoma postajajo dopolnilo silicijevim rezinam in kažejo velik potencial na področju visoke tehnologije. Kaj so steklene rezine? Steklene rezine so visoko zmogljive okrogle tanke rezine, običajno izdelane iz kremenčevega stekla, stekla brez alkalij ali kompozitov stekla in silicija. Z odličnimi fizikalnimi in kemijskimi lastnostmi igrajo nenadomestljivo vlogo na najsodobnejših proizvodnih področjih, kot so proizvodnja polprevodnikov, optika, MEMS, zabavna elektronika, biomedicina in laboratorijske raziskave.
Glavni materiali za steklene rezine
1. Far-ultravijolično kremenčevo steklo
Far-ultravijoličnokremensteklo se proizvaja s postopkom kemičnega naparjevanja, pri katerem je plinasti silicijev tetraklorid podvržen reakciji plinske faze v oksihidrogenskem plamenu, da nastane amorfni silicijev dioksid, ki se nato nanese na kremenčev substrat za postopno rast in tvorbo. Ta material vsebuje veliko količino hidroksilnih skupin (950-1400 ppm), z majhno skupno količino kovinskih nečistoč, manjšo od 0,2 ppm. Zahvaljujoč svojim odličnim lastnostim, kot so lastnosti proti sevanju, optična enotnost in visoka ultravijolična prepustnost (zlasti v daljnem ultravijoličnem območju), se kremenčevo steklo za daljno ultravijolično sevanje široko uporablja v aplikacijah na področju optike za daljno ultravijolično sevanje.
Vendar pa je obsežna uporaba kremenčevega stekla v daljni ultravijolični svetlobi do neke mere omejena z dejavniki, kot so napake v traku, ki jih je enostavno ustvariti med postopkom priprave, težave pri oblikovanju izdelkov velikih velikosti in kompleksnih oblik ter razmeroma visoki stroški izdelave.
2.Ultravijolično optično kremenčevo steklo:
Ultravijolično optično kremenčevo steklo s postopkom plamenske fuzije se izdela s taljenjem naravnega kristala s plamenom oksivodika, čemur sledi nanašanje na površino taljenih tarč iz kremenčevega stekla. Ultravijolično optično kremenčevo steklo z vsebnostjo hidroksila 150-400 ppm nudi izjemne prednosti, kot so visoka ultravijolična prepustnost, močna kemična stabilnost, dobra toplotna stabilnost in visoka mehanska trdnost. Zaradi zrelega proizvodnega procesa in visoke stroškovne učinkovitosti se ultravijolično optično kremenčevo steklo pogosto uporablja v industriji elektronike in polprevodnikov.
Vendar ima ultravijolično optično kremenčevo steklo slabo optično enakomernost in lahko vsebuje mikroskopske napake, kot so strije in mikro mehurčki, ki lahko vplivajo na kakovost optičnega slikanja in stabilnost laserskega prenosa.
3. Infrardeče optično kremenčevo steklo:
Infrardeče optično kremenčevo steklo se proizvaja s taljenjem kristalnega prahu po postopku vakuumske elektrofuzije. Ta material ima nizko vsebnost hidroksila (<5 ppm), kar ima za posledico vrhunsko infrardečo prepustnost. Zahvaljujoč vrhunski infrardeči prepustnosti, dobrim kemičnim lastnostim, visoki mehanski trdnosti in zreli tehnologiji izdelave se infrardeče optično kremenčevo steklo pogosto uporablja v aplikacijah infrardeče optike.
Vendar pa infrardeče optično kremenčevo steklo vsebuje visoko vsebnost kovinskih nečistoč in zagotavlja razmeroma nizek prag poškodb zaradi laserja, zaradi česar je neprimerno za laserske aplikacije z visoko energijsko gostoto in scenarije, ki zahtevajo izjemno visoko prepustnost ultravijolične svetlobe na daljavo.