Glavne keramične komponente v proizvodnji polprevodnikov

Polprevodniška oprema je sestavljena iz komor in komor, večina keramike pa se uporablja v komorah, ki so bližje rezinam. Keramični deli, pomembni sestavni deli, ki se široko uporabljajo v vdolbinah jedrne opreme, so komponente polprevodniške opreme, izdelane z natančno obdelavo z uporabo naprednih keramičnih materialov, kot so keramika aluminine, aluminijeva keramika in silicijev karbid keramika. Napredni keramični materiali imajo odlične zmogljivosti na področju trdnosti, natančnosti, električnih lastnosti in korozijske odpornosti in lahko ustrezajo zapletenim zahtevam zmogljivosti iz proizvodnje polprevodnikov v posebnih okoljih, kot sta vakuum in visoka temperatura. Napredne komponente keramičnega materiala polprevodniške opreme se uporabljajo predvsem v komorah, nekatere pa so v neposrednem stiku z rezino. So ključne natančne komponente v integrirani proizvodnji vezja in jih je mogoče razdeliti na pet kategorij: obročasti cilindri, vodniki za pretok zraka, obremenitve in fiksne vrste, tesnila in module prijemanja. Ta članek govori predvsem o prvi kategoriji: obročasti cilindri.

Obroči in jeklenki

1. Moiré prstani: v glavnem se uporabljajo v opremi za nalaganje tankih filmov. Nahajajo se znotraj procesne komore, pridejo v neposreden stik z rezino, izboljšajo vodenje plina, izolacijo in korozijsko odpornostjo.

2. Gurni obroči: V glavnem se uporabljajo v opremi za nalaganje tankih filmov in etcherju. Nahajajo se znotraj procesne komore, ščitijo ključne komponente modula, kot sta elektrostatični chuck in keramični grelec.

3. Robni obroči: v glavnem se uporabljajo v opremi za nalaganje tankih filmov in etcherju. Nahaja se znotraj procesne komore, stabilizirajo in preprečujejo pobeg plazme.

4. Osredotočevalni prstani: V glavnem se uporabljajo v opremi za nalaganje tankih filmov, etcher in ionski implantacijski opremi. Nahaja se znotraj procesne komore, od rezine so manj kot 20 mm, pri čemer se plazmo osredotočajo znotraj komore.

5. Zaščitni pokrovi: V glavnem se uporabljajo v opremi za nalaganje tankih filmov in etcherju. Nahaja se znotraj procesne komore, tesnijo in absorbirajo ostanke procesa.

6. ozemljitveni obroči: v glavnem se uporabljajo v opremi za nalaganje tankih filmov in etcherju. Nahaja se zunaj komore, zavarovajo in podpirajo komponente.

7. LINER: V glavnem se uporablja v jedkalcih, ki se nahajajo znotraj procesne komore, povečuje vodenje plina in zagotavlja večjo enotno tvorbo filma.

8. Izolacijski valj: V glavnem se uporablja v opremi za nalaganje tankih filmov, jedrih in ionskih implanterjih, ki se nahaja znotraj procesne komore in izboljša zmogljivost nadzora temperature opreme.

9. Zaščitna cev za termoelemente: Uporablja se predvsem v različnih polprevodniških prednji opremi, nahaja se zunaj komore in ščiti termoelemente v razmeroma stabilnem temperaturi in kemičnem okolju.

Semicorex ponuja visokokakovostnoKeramični izdelkiv polprevodniku. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktni telefon # +86-13567891907

E -pošta: sales@semiconex.com