Grafitni grelniki prevodne prevleke

TheGrafitni grelec prevodne prevlekeje nov izdelek, zasnovan za visokotemperaturne polprevodniške obdelave in drugih vakuumskih toplotnih sistemov. Uporablja dobro toplotno stabilnost grafita visoke čistosti in odlične površinske značilnosti premaza silicijevega karbida (sic). Grafitni grelec prevodne prevleke se nadalje razlikuje s svojo sic-sloj, dopirano z dušikom, ki ponuja močno izboljšano površinsko prevodnost, zaradi česar je še posebej dobro primerna za aplikacije, ki jih je treba nadzorovati in celo ogrevati z velikimi električnimi zmogljivostmi.

Grelec je izdelan z visoko trdnim grafitnim substratom, ki deluje kot osrednji strukturni in toplotni vodnik. Izbran je bil grafit, posebej glede na visoko raven toplotne prevodnosti, nizko toplotno ekspanzijsko koeficient in odpornost na toplotni šok. Zaradi teh značilnosti je grafit primeren osnovni material v visokotemperaturnih postopkih, kjer lahko pride do hitrega ogrevanja in hlajenja ciklov. Vendar je neokrnjen grafit v določenih atmosferi kemično reaktiven in lahko med podaljšano uporabo doživi površinsko poškodbo ali razgradnjo, emisije delcev ali prenosa, zlasti v polprevodniških čistih okoljih.

Za premagovanje teh omejitev je grafitni del prevlečen z debelo, visoko čistočo sic. SIC prevleka opravlja več funkcij: zagotavlja raven zaščite pred oksidacijo in kemično korozijo, zagotavlja zelo težko površino, odporno proti obrabi in zagotavlja združljivost z vakuumskimi in čistimi standardi. SIC ima sloves za skrajno trdoto, visoko toplotno prevodnost in kemično inertnost; Zaradi tega je odličen material za prevleko za visokozmogljive toplotne komponente.

Edinstvena inovacija tega izdelka je dušikovo doping sic prevleke. Med postopkom kemičnega odlaganja hlapov (CVD) se dušikovi atomi vgradijo v sic rešetko, ki proizvajajo proste nosilce, kar lahko drastično zmanjša njegovo površinsko upornost in s tem ustvari prevodno površinsko plast in omogoča, da neposredno prehaja tok, namesto da uporabi dostopno točko, tako da skozi plino s sic, s čimer lahko celotno grafitno komponento deluje kot uporniško komponento.

KlasičnaSic prevlekeso izolativni, kar jih resnično omejuje v obsegu aktivnih električnih aplikacij. Nasprotno pa ima SiC-plast z dušikom na grelniku izjemno nizko površinsko odpornost, hkrati pa še vedno ohranja vse mehanske in kemijske koristi klasičnega sic. Prevodna plast zagotavlja zelo dobro enakomernost toka in zmanjšuje izgubo energije, hkrati pa izboljšuje toplotno porazdelitev na površini grelnika. Posebej je idealen za natančno ogrevalno uporabo pod pogoji, ki so pogosto povezani z epitaksialnimi reaktorji, difuzijsko peči in hitro opremo za toplotno obdelavo (RTP).

Geometrija grelnika, običajno spiralna ali serpentin, kot je prikazano na sliki, je zasnovana in optimizirana z namenom proizvodnje enakomerne toplotne izhodne energije in enakomerne električne obremenitve. Z integrirano zasnovo grafitne in prevodne siC prevleke lahko električne stike vzpostavite neposredno na prevlečeno površino, ki odpravlja potrebo po dodatnih elektrodah ali kovinski povezavi. To zmanjšuje tveganja za kontaminacijo in povzroči enostavnejši sklop. Posledično se izboljša skupna učinkovitost.

Ključne prednosti prevodneSic prevlečen grafitni grelecvključi:

Odlična električna prevodnost zaradi dopinga dušika, ki omogoča neposredni tok in učinkovito uporovno ogrevanje.

Vrhunska toplotna enakomernost z natančnim nadzorom temperature nad celotno površino.

Visoka kemična odpornost, zlasti v korozivnem okolju, kot so vodik, amonijak ali atmosfere, bogate s halogenom.

Minimalno ustvarjanje delcev, ki izpolnjujejo stroge potrebe po čistosti iz izdelave polprevodnikov.

Podaljšana življenjska doba zaradi mehanske trajnosti in odpornosti toplotnega udarca tako grafitnega jedra kot sic prevleke.

Aplikacije za ta grelec segajo v številne napredne tehnološke industrije. Grelec bo našel prostor v procesih izdelave polprevodnikov, kot so kemično odlaganje hlapov (CVD), epitaksija molekulskega žarka (MBE) in žarjenje rezin, kjer sta natančen nadzor temperature in čistost materialov kritična. Grafitni grelec, prevlečen s sic, se lahko uporablja tudi pri fotovoltaični proizvodnji, sintranju napredne keramike in v drugih toplotnih procesih, kjer so potrebne večje zmogljivosti, trajnost in robustni grelniki.

Če povzamemo, je prevodni grafitni grelec, prevlečen s sic, impresiven napredek pri razvoju toplotnih komponent. Z uporabo siC-premaza, dopiranega z dušikom, smo razvili učinkovit termični izdelek, ki uspešno združuje kemično stabilnost sic prevleke z električno prevodnostjo. Tako je ustvarjanje toplotnega procesa, ki je učinkovitejši, čistejši in zanesljivejši za najzahtevnejše industrijske aplikacije. Industrija polprevodnikov in materialov se soočajo z nenehnimi spremembami in takšni hibridni materiali bodo vse pomembnejši pri zagotavljanju prihodnjih naprednejših tehnologij za proizvodnjo.

Semicorex ponuja visokokakovostnoGrafitni grelniki s prevlekoizdelki. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktni telefon # +86-13567891907

E -pošta: sales@semiconex.com