Uvajanje gradiva za gradivo

Alumina keramikaSestavni deli imajo odlične lastnosti, kot so visoka trdota, visoka mehanska trdnost, super obratna odpornost, visoka temperaturna odpornost, visoka upornost in dobra električna izolacijska zmogljivost. Lahko izpolnjujejo zapletene zahteve glede zmogljivosti za izdelavo polprevodnikov v posebnih okoljih, kot sta vakuum in visoka temperatura. Igrajo nenadomestljivo in pomembno vlogo pri proizvodnih linijah za proizvodnjo polprevodnikov. Njihove aplikacije pokrivajo skoraj vso opremo za proizvodnjo polprevodnikov in so ključne sestavine opreme za proizvodnjo polprevodnikov. Z nenehnim razvojem polprevodniške industrije bo postal pomembnejši pomen alumina keramičnih komponent v industrijski verigi.

Ko se velikost lastnosti čipa zmanjšuje, ima polprevodniška oprema strožje zahteve za komponente, njegova gostota, enakomernost, korozijska odpornost itd. V zadnjih letih so domači in tuji učenjaki razvili različne nove procese za izboljšanje sintražnih pogojev keramičnih materialov alumina, tako da lahko dosežejo hitro zgoščevanje materialov pri nižjih temperaturah sintranja, kot so samo razpadanje visokotemperaturno sintranje, hladno sintranje in osciliranje in oscilliranje. Med njimi je hladno sintranje dodati prehodno topilo v prah in uporabiti velik tlak (350 ~ 500MPA), da povečate preureditev in difuzijo med delci, tako da lahko keramični prah sintramo in denzificiramo pri nižji temperaturi (120 ~ 300 ℃) in popravnemu času.

Trenutno se je globalni proces izdelave integriranega vezja razvil do naprednejšega procesa na ravni 3-nanometra. Natančne komponente polprevodniške opreme in polprevodniške opreme je treba nenehno razvijati in nadgraditi, izboljšati pa je treba, da se zajemajo potrebe po proizvodnji na nižji stopnji. Ko se polprevodniška oprema posodablja, se bodo posebne zahteve nove opreme za komponente sinhrono spremenile. Z razvojem polprevodniške tehnologije so zahteve glede zmogljivosti za alumina keramične komponente večje in višje, vključno z večjo odpornostjo na obrabo, visoko temperaturno odpornostjo in boljšo električno izolacijo. Trendi v industriji ponavadi razvijajo večjo čistost, finejšo strukturo gradivo v prahu in sprejemajo napredne tehnologije priprave.

Alumina keramikaimajo zelo visoke potrebe po čistosti, kadar se uporabljajo v polprevodniškem polju, na splošno večje od 99,5%. Na polprevodniškem polju so alumina keramični deli eden ključnih delov polprevodniške opreme. Večina jih uporablja v komorah, bližje rezi. V polprevodniški opremi jih razvrstimo po uporabi in jih v glavnem razdelimo na obročaste jeklenke, vodnike za pretok zraka, pritrjena obremenitve, ročno oprijeta tesnila, module itd.

V procesu jedkanja so za zmanjšanje kontaminacije rezin med jedrjem v plazmi izbrani kot zaščitni materiali za jedkanje in oblogo komore izbrani aluministični premazi ali aluminine keramike z močno korozijsko odpornostjo.

V procesu čiščenja v plazmi se uporabljajo korozivni plini, ki vsebujejo visoko reaktivne halogenske elemente, kot sta fluor in klor. Plinska šoba je običajno izdelana iz keramike alumina, ki mora imeti visoko upornost v plazmi, dielektrično trdnost in močno korozijsko odpornost na predelave plinov in stranskih proizvodov. Hkrati se za natančno nadzor pretoka plina uporablja notranja natančna luknja.

V procesu proizvodnje polprevodnikov lahko rezina podvržejo visokotemperaturni obdelavi, kot so jedkanica, ionska implantacija itd. Kot nosilec prenosa rezin lahko nosilec aluminske rezine zagotovi stabilnost in varnost rezin med prenosnim postopkom. Nosilec alumina rezin ima dobro toplotno prevodnost in lahko učinkovito razprši in izvaža toploto, ki jo ustvarja rezina, s čimer zaščiti rezino pred toplotno poškodbo.

Pri ravnanju s rezinami bo uporabljena keramična robotska roka iz keramike iz glinice. Nameščena bo na robotu za robote za robove, ki je enakovreden roki robota. Odgovoren je za nošenje rezine na določeno lokacijo, njegova površina pa je v neposrednem stiku z rezino. Ker so rezine izredno dovzetne za kontaminacijo z drugimi delci, se običajno izvajajo v vakuumskem okolju. V tem okolju robotske roke večine materialov na splošno težko dokončajo delo. Materiali, ki se uporabljajo za izdelavo robotskih rok, morajo biti odporni na visoke temperature, odporne na obrabo in imajo visoko trdoto. Zaradi zahtev delovnih pogojev so na splošno izdelani iz izjemno visokih aluminskih keramičnih materialov, natančnost in površinska hrapavost keramičnih delov pa je treba zagotoviti.

Semicorex ponuja visokokakovostnoAlumina keramične delev polprevodniku, vključno s sic prevleki in TAC prevleki. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktni telefon # +86-13567891907

E -pošta: sales@semiconex.com