Keramični grelniki

V postopku sprednjega dela (FEOL) iz proizvodnje polprevodnikovrentaPotreba je podvržena različnim postopkom obdelave, zlasti rezine je treba segreti na določeno temperaturo in obstajajo stroge zahteve, ker ima enakomernost temperature zelo pomemben vpliv na donos izdelka; Hkrati mora polprevodniška oprema delovati v prisotnosti vakuuma, plazme in kemičnih plinov, kar zahteva uporabo keramičnih grelnikov.Keramični grelnikiso pomembne sestavine opreme za nalaganje tankih filmov. Uporabljajo se v procesni komori in se neposredno obrnite na rezino, da nosijo in omogočijo rezino, da dobijo stabilno in enakomerno temperaturo procesa ter reagirajo z visoko natančnostjo na površini rezine, da ustvarijo tanke filme.

Ker oprema za nalaganje tankega filma, ki jo uporabljajo keramični grelniki, vključuje visoke temperature, se običajno uporabljajo keramični materiali, ki temeljijo predvsem na aluminijevem nitridu (ALN). Ker ima aluminijev nitrid električno izolacijo in odlično toplotno prevodnost; Poleg tega je njegov koeficient toplotne ekspanzije blizu silicija in ima odlično odpornost na plazmo, zelo primeren za uporabo kot sestavni del polprevodniške opreme.

Elektrostatični chucks (ESC) se uporabljajo predvsem v jedkani opremi, predvsem aluminijevem oksidu (AL2O3). Ker sam elektrostatični cuck vsebuje tudi grelec, pri čemer je primer suhega jedkanja, je treba nadzorovati rezino pri določeni temperaturi v območju -70 ℃ ~ 100 ℃, da se ohrani določena značilnost jedkanja. Zato je treba rezine segreti ali razbliniti elektrostatični chuck, da natančno nadzorujemo temperaturo rezin. Poleg tega mora za zagotovitev enakomernosti površine rezin elektrostatični chuck pogosto povečati območje temperature, da se ločeno nadzoruje temperaturo vsake temperaturne kontrolne cone, da se izboljša donos procesa. Seveda se je z razvojem tehnologije razlikovanje med tradicionalnimi keramičnimi grelniki in elektrostatičnimi chucks začelo zamegljeno. Nekateri keramični grelniki imajo dvojne funkcije visokotemperaturnega ogrevanja in elektrostatične adsorpcije.

Keramični grelec vključuje keramično bazo, ki nosi rezino in valjasto podporno telo, ki ga podpira na zadnji strani. Znotraj ali na površini keramične podlage, poleg upornega elementa (ogrevalni sloj) za ogrevanje, obstaja tudi radiofrekvenčna elektroda (radiofrekvenčna plast). Da bi dosegli hitro ogrevanje in hlajenje, mora biti debelina keramične podlage tanka, vendar bo tudi pretanka zmanjšala togost. Podporni telo grelnika je na splošno izdelan iz materiala s toplotnim koeficientom ekspanzije, podobno kot v bazi, zato je podporno telo pogosto izdelano tudi iz aluminijevega nitrida. Grelnik na dnu sprejme edinstveno strukturo grednega sklepa (gred), ki lahko zaščiti sponke in žice pred učinki plazme in korozivnih kemičnih plinov. V podpornem telesu je na voljo toplotna prevodna plinska in odtočna cev, da se zagotovi enakomerna temperatura grelnika. Osnova in podporne telo sta kemično vezana z vezavnim slojem.

Semicorex ponuja visokokakovostnoKeramični grelniki. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktni telefon # +86-13567891907

E -pošta: sales@semiconex.com