Kako napredni materiali rešujejo 3 kritične izzive pri oblikovanju polprevodniške peči

Dirka za krčenje velikosti tranzistorjev in učinkovitosti obsega sončnih celic potisne opremo za toplotno obdelavo do njenih meja. V Semicorexu smo dve desetletji sodelovali z vodilnimi proizvajalci polprevodnikov in PV, da bi obravnavali ponavljajočo se bolečino: ko standardni materiali v ekstremnih pogojih ne uspejo, je mogoče ogroziti celotne proizvodne serije.

CVD prevleke: oklep za komponente procesa

Kemični nalaganje hlapov (CVD), kot sta silicijev karbid (sic) in Tantalum karbid (TAC), revolucionarno dolgo življenjsko dobo v težkih okoljih:

Sic prevlekaPrednosti:

Zdrži temperature do 1.650 ° C v inertni atmosferi

Zmanjšuje kontaminacijo delcev v epitaksialnih rastnih reaktorjih

Podaljša življenjsko dobo grafitnih obspevcev s 3-5x

Tac prevlekaV difuzijskih ovirah:

Preprečuje infiltracijo staljenega silicija v lončkih (99,999% zadrževanje čistosti)

Zmanjša Warfage rezin med hitro toplotno obdelavo (RTP)

Ko temperature presežejo 1600 ° C: prednost CVD prevleke

To ni čarovnija - to je znanost o materialih. Naš lastniški proces CVD nalaga tako premazovanje SIC kot TAC z natančnostjo atomske ravni, kar ustvarja površine, ki:

Upremo korozijo silicijeve hlape 3x daljše od standardnih premazov

Ohranite <0,5 µm debeline v kompleksni geometriji

Odpravite Delaminacijo prevleke tudi pod toplotnim kolesarjenjem

Tiha kriza v toplotni enotnosti

V kristalnih rastnih pečih lahko neskladna porazdelitev temperature v odpadki pretvori silicijev ingot v višini 250 tisoč dolarjev. Skozi materialne inovacije, kot so:

Grafitski klobuk z gostoto (0,18-0,25 g/cm³ gradient zasnova)

Ogljikov-ogljik kompozitni izolatorji z <2% toplotno razširitveno anizotropijo

... Strankam smo pomagali pri doseganju:

✔️ ± 1,5 ° C Aksialna temperaturna enakomernost v 300 mm Czochralski sistemi

✔️ 40% hitrejše hitrosti hlajenja, ne da bi se ingot lomili

Zakaj je čistost kremenčev bolj kot kdaj koli prej

Ko je livarna Tier-1 MEMS izsledila okvare delcev na njihove obloge za jedkanje, naša raztopina kremenčeve izstreljene škrlatne vrednosti brez mehurčkov:

Zmanjšana kontaminacija kovin za 89% (analiza ICP-MS)

Razširjeni intervali za preventivno vzdrževanje od 3 do 8 mesecev

Dosegli 99,999% začetna čistost z <0,1ppb vsebnostjo alkalijske kovine

Poleg specifikacij: aplikacijske inženirske zadeve

Medtem ko tehnične specifikacije zagotavljajo izhodiščne primerjave, je učinkovitost v resničnem svetu odvisna od:

• Sklop materiala in procesa - kako komponente medsebojno delujejo s specifičnimi kemijami (npr. CL₂ proti SF₆ plazme)

• Knjižnice načina napake - naša baza podatkov o okvari 1.200+ komponentov obvešča o izbiri gradiva

• Razvrščanje po meri - prilagajanje poroznosti/prevodnosti grafita v delih prerezov

Semicorex ponuja visokokakovostnoTantalum karbid prevlečeninSilicijev karbid prevlečenprilagojeni deli. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktni telefon # +86-13567891907

E -pošta: sales@semiconex.com